規范名稱:GB 50467-2008 微電子生產設備安裝工程施工及驗收規范.pdf
文件大?。?.95 MB
文件格式:.pdf
規范頁數:43頁
標準號:GB 50467-2008
實施狀態:現行
中文名稱:微電子生產設備安裝工程施工及驗收規范(附條文說明)
英文名稱:Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering
組織分類:GB
中標分類:P82
ICS分類:31
標準分類:CN
發布日期:2008-12-15
實施日期:2009-07-01
歸口單位:中國電子系統工程第二建設有限公司
起草單位:中國電子系統工程第二建設有限公司
范圍:本規范適用于集成電路、半導體分立器件生產設備安裝工程的施工及驗收。本規范不包括集成電路及半導體分立器件生產
設備聯動調試及試生產。
微電子生產設備安裝工程施工中采用的工程技術文件、承包文件對施工及質量驗收的要求不得低于本規范的規定。
微電子生產設備安裝就位應按批準的設計圖紙施工,修改設計應有原設計單位的變更通知。
用于檢測的儀器儀表應經國家法定計量檢定機構檢定合格,并應在檢定有效期內使用。
微電子生產設備安裝工程的施工及驗收除應執行本規范外,尚應符合國家現行有關標準的規定。